에어샤워는 클린룸 및 기타 통제 구역에 미립자 물질이 유입되거나 유출되는 것을 최소화하는 독립형 챔버입니다.
통제 구역에 출입하는 인원과 자재는 고속의 HEPA 또는 ULPA 여과 공기로 세정됩니다. 이를 통해 인원이나 물체 표면의 먼지, 섬유 보풀 및 기타 오염 물질을 제거합니다. 오염된 공기는 장치 내부 하단으로 흡입되어 여과 후 재순환됩니다. 클린룸 설계에 적절히 통합된 에어샤워는 ISO 등급 전이 구역을 제공하여 클린룸 청정도를 유지하도록 돕습니다.
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